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热处理炉的等离子加热装置
该装置由真空容器、工作台、产生等离子体的气源及供排气管路和控制电路组成。工件放在真空容器内的工作台上，连接电源阴极，容器连接电源阳极。控制电路使在低真空中的气体电离，产生等离子，等离子又在电场作用下高速冲击工件，将其动能转化为热能，加热工件。此装置主要用作渗氮等化学热处理，离子渗氮设备就是此类。其优点是等离子体本身就是渗剂的离子如N+,N+在冲击工件时，溅射掉工件表面的钝化膜，并渗入工件内，有较高的渗速和较致密的渗层。
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