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渗氮零件为了心部具备较高的综合力学性能，处理前一般需要进行调质处理，工模具采用淬火、回火处理，以获得回火索氏体组织（工模具为回火马氏体组织）。
形状复杂、畸变要求高的精密零件，在精加工之前，应进行1~2次稳定化处理，以消除机械加工引起的应力，并保证组织稳定。稳定化处理温度应高于渗氮温度，稳定化温度与渗氮温度都不能高于调质回火温度。
渗氮件表面粗糙度对处理效果也有影响，粗糙的表面使渗层的不均匀性和脆性增大。
相同渗氮条件下，渗氮层深度和硬度与调质预处理的回火温度有关。
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